
Ø 300–600 mm
大直径单晶材料
聚焦环 · 硅电极 · 多晶环
刻蚀设备核心硅部件
材料 · 加工 · 清洗
一体化整合能力

产品中心
三大产品线
从大直径单晶、多晶材料,到刻蚀设备精密硅零部件,覆盖材料—加工—清洗全流程。
核心能力
从材料到部件的一体化能力
高精密加工中心
配备高精密加工中心,满足硅零部件严苛的加工精度要求。
高精度检测仪器
完善的高精度检测手段,保障产品尺寸与质量稳定。
超洁净清洗产线
超洁净清洗产线,满足半导体级洁净度要求。
差异化定制
可做差异化定制,兼顾国内外市场,具备新产品开发能力。


